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近日,位于上海自贸区临港新片区的上海心芯相连半导体技术有限公司(下称“心芯相连”)先进铜互联设备研发项目竣工交付。心芯相连是半导体高端制造设备与工艺一体的核心供应商,专注于前道大马士革金属互联工艺的开发,旨在通过自主研发打破长期国外技术壁垒,填补国内半导体先进制成电镀设备空白,完善国产化半导体装备供应产业链。
上述项目位于闵行开发区临港园区“智芯源”一期的10号厂房,总面积5564.53平方米。该研发制造中心具备百级、千级标准化半导体研发制造无尘车间,一流的半导体检测设备及工艺试验设备,将专注于先进铜互联的研发和制造,支撑集成电路先进封装产业链全面发展,确保国产设备供应链安全稳定。
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